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Opus Siegen
Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik
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Publikationen
5
Details
Publikationen
in this Journal
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Author
1
Vogel, Michael
Subject
1
620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
1
Aluminiumnitrid
1
Diamond
1
PSAW
1
SAW
1
Surface acoustic wave
Date issued
1
2016
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Refined By:
Subject:
Aluminum nitride
Subject:
Diamant
Subject:
Sputtering
Subject:
Sputtern
Type:
Doctoral Thesis
Results 1-1 of 1 (Search time: 0.002 seconds).
Refman
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Title
Author(s)
1
2016
11
Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen
Vogel, Michael