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Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik

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Subject:  Aluminum nitride
Subject:  Surface acoustic wave
Subject:  PSAW
Subject:  Sputtern
Subject:  620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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Issue Date???itemlist.ubsi.display.sortissue???TitleAuthor(s)
1201611Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-AnwendungenVogel, Michael