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Opus Siegen
Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik
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Publikationen
5
Details
Publikationen
in this Journal
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Subject
1
620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
1
Aluminum nitride
1
Diamant
1
Diamond
1
PSAW
1
SAW
1
Sputtering
1
Sputtern
1
Surface acoustic wave
Date issued
1
2016
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Refined By:
Type:
Doctoral Thesis
Subject:
Aluminiumnitrid
Author:
Vogel, Michael
Results 1-1 of 1 (Search time: 0.001 seconds).
Refman
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Bibtex
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Issue Date
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Title
Author(s)
1
2016
11
Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen
Vogel, Michael