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Opus Siegen
Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik
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Publikationen
5
Details
Publikationen
in this Journal
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Type
1
Doctoral Thesis
Author
1
Vogel, Michael
Subject
1
620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
1
Aluminiumnitrid
1
Aluminum nitride
1
Diamant
1
PSAW
1
Sputtering
1
Surface acoustic wave
Date issued
1
2016
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Refined By:
Subject:
Diamond
Subject:
SAW
Subject:
Sputtern
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Title
Author(s)
1
2016
11
Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen
Vogel, Michael