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Dokument Type: Doctoral Thesis
metadata.dc.title: Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen
Other Titles: Synthesis of aluminum nitride thin films utilizing magnetron sputtering on diamond for potential pseudo surface acoustic wave applications
Authors: Vogel, Michael 
Institute: Institut für Werkstofftechnik 
Free keywords: PSAW, SAW, Sputtering, Aluminum nitride, Diamond, Surface acoustic wave
Dewey Decimal Classification: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
GHBS-Clases: ZKS
ZLR
Issue Date: 2016
Publish Date: 2016
Series/Report no.: Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik 
Abstract: 
In der vorliegenden Dissertation wurden qualitativ hochwertige, piezoelektrische AlN-Schichtenhergestellt und deren Eignung als SAW-Sensormaterial untersucht. Für die Synthese der Schichten wurde das reaktive Radiofrequenz-Magnetron-Sputtern von hochreinem Aluminium unter Beimischung von N2 verwendet. Zur Bestimmung der optimalen Wachstumsbedingungen und zur Strukturaufklärung wurden Beschichtungs...

In this dissertation high quality, piezoelectrical AlN coatings were synthesized and their suitability as SAW sensor material have been tested. For thin film synthesis reactive radiofrequency magnetron sputtering of high purity aluminum in a N2 atmosphere was utilized.
For the optimization of the growth mechanisms and to elucidate the coatings’ structure the process parameters in correlation to...
URN: urn:nbn:de:hbz:467-10414
URI: https://dspace.ub.uni-siegen.de/handle/ubsi/1041
License: https://dspace.ub.uni-siegen.de/static/license.txt
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