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Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik

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Publikationen
(Bände)

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Schlagwort:  Aluminum nitride
Dokumenttyp:  Dissertation
Schlagwort:  Diamond

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ErscheinungsdatumBandnummerTitelAutorIn(en)
1201611Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-AnwendungenVogel, Michael