Please use this identifier to cite or link to this item: https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:467-2287
Files in This Item:
File Description SizeFormat
ortloff.pdf13,69 MBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Dokument Type: Doctoral Thesis
Title: Product engineering for silicon based MEMS IP
Authors: Ortloff, Dirk 
Institute: Fachbereich 12, Elektrotechnik und Informatik 
Free keywords: Microsystems, Intellectual Property, Semiconductor IP
Dewey Decimal Classification: 004 Informatik
GHBS-Clases: YFBA
Issue Date: 2006
Publish Date: 2006
Abstract: 
Today the silicon based Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS) industry
has inadequate development methodologies and frameworks. This is especially
true when developing MEMS process and design Intellectual Property
(IP). The existing development methods and frameworks are not accommodating
for the necessary areas and components required for efficient, reproducible
and controlled MEMS IP development. As such issues have not been
addressed, this results in e.g. unresolved development methodology questions
and non-systematic storage of product deliverables.

This thesis proposes a systematic development approach to tackle several
of such insufficiencies. It proposes a novel MEMS IP development methodology
guiding the developments from a product idea to a marketable product.
Because the business processes of the method require tool support, a quality
integrated Product Engineering Framework is proposed supporting the key areas.
The thesis describes a new framework concept of business process components
supporting the methodology and establishes processes guiding through
the development efforts.

A major focus is set on the in-depth research of reproducibility and control
aspects of the process IP development efforts. The findings concerning process
development tracking are converted into novel concepts for supporting tools
and the newly implemented software environment to address the found problem
areas is introduced. The thesis presents results generated during the EU
FP6 project PROMENADE [Eur04] and previous works. The software environment
developed by the PROMENADE project builds a major cornerstone of a
company wide framework for developing silicon based MEMS IP modules.

Die Industrie für siliziumbasierte Mikrosysteme hat heute keine adäquaten
Entwicklungsmethoden und -umgebungen. Dies gilt speziell für Firmen,
die ein wissensbasiertes Geschäftsmodell (Intellectual Property, IP) verfolgen.
Die existierenden Methoden und Umgebungen unterstützen nicht alle
erforderlichen Bereiche und bieten nicht alle notwendigen Komponenten
für die Mikrosystementwicklung. Diese unzureichende Unterstützung führt,
unter anderem, zu unvollständigen und nicht reproduzierbaren Entwicklungsflüssen. Dies ist vor allem auf die unsystematische Speicherung der
Entwicklungs- und Produktergebnissen zurückzuführen.

Diese Doktorarbeit stellt einen systematischen Entwicklungsansatz vor, der
mehrere dieser Probleme bearbeitet. Hierzu werden alle relevanten Aspekte
analysiert und exemplarische Lösungsvorschläge aufgezeigt. Es wird eine neue Methodik bereitgestellt, welche von der Idee bis zum vermarktbaren,
wissensbasierten Mikrosystemprodukt führt. Hierzu wird eine Umgebung
aus Geschäftsprozessen und Unterstützungswerkzeugen für die Methodik beschrieben.

Ein besonderes Augenmerk wird auf die detaillierte Analyse von
Reproduzierbarkeits- und Kontrollaspekten der Fertigungsprozessentwicklung
gelegt. Die Ergebnisse wurden zur Entwicklung neuer Konzepte und
Werkzeuge zur Entwicklungsunterstützung in der Praxis eingesetzt. Die Arbeit
präsentiert Ergebnisse aus dem von der EU geförderten Projekt PROMENADE
[Eur04] und des Vorläuferprototypen PDTS. Die innerhalb des Projektes
entwickelte Softwareumgebung bildet einen Grundpfeiler für die firmenweite
eingesetzte Entwicklungsumgebung.
URN: urn:nbn:de:hbz:467-2287
urn:nbn:de:hbz:467-2287
URI: https://dspace.ub.uni-siegen.de/handle/ubsi/228
License: https://dspace.ub.uni-siegen.de/static/license.txt
Appears in Collections:Hochschulschriften

This item is protected by original copyright

Show full item record

Page view(s)

110
checked on Oct 29, 2020

Download(s)

47
checked on Oct 29, 2020

Google ScholarTM

Check


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.