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Dokument Type: Doctoral Thesis
Title: Fertigungsnahe Entwurfsunterstützung für die Mikrosystemtechnik
Other Titles: Technology driven design support for microsystem technology
Authors: Wagener, Andreas 
Institute: Fachbereich 12, Elektrotechnik und Informatik 
Free keywords: Prozessverwaltung, Verifikation, Simulation
Dewey Decimal Classification: 004 Informatik
GHBS-Clases: YFBE
Issue Date: 2005
Publish Date: 2005
Abstract: 
Der Entwurf von Mikrosystemen, hier speziell der von siliziumbasierten nichtelektronischen
Systemen, zeichnet sich dadurch aus, dass alle Phasen des Entwurfs durch die angestrebte
Fertigungsanweisung beeinflusst werden. Erschwerend kommt hinzu, dass, im Gegensatz zur
Mikroelektronik, beinahe jedes Mikrosystem eine eigene Fertigungsanweisung benötigt. Eine
Abstraktion auf Basis von Masken und Entwurfsregeln ist nicht möglich. Aus diesem Grund
beschränken sich die meisten Softwarewerkzeuge für die Mikrosystemtechnik auf die sehr
frühen Phasen des Entwurfs und Einzelprozesssimulationen.
Unter Berücksichtigung der Methoden in der Mikroelektronik und der Mechanik wird in
dieser Arbeit eine Methodik vorgestellt, die als Basis für eine durchgängige
Entwurfsunterstützung speziell im technologienahen Bereich dienen kann. Basierend auf eben
dieser Methodik und neuen Konzepten der Datenhaltung wird eine Entwicklungsumgebung
vorgestellt, die es ermöglicht, Prozessinformationen einheitlich abzulegen, zu verwalten und
wieder zur Verfügung zu stellen. Die Entwicklungsumgebung gibt weiterhin die Möglichkeit
auf Basis der abgelegten Prozessinformationen, Fertigungsanweisungen zu erstellen und
automatisch auf Fertigbarkeit zu prüfen. Die Simulation der Fertigungsfolge wird durch eine
hierarchische Anordnung der Simulationsmodelle unterstützt bzw. erst möglich gemacht.
Abschließend werden mögliche Erweiterungen diskutiert.

In microsystem technology, especially in the area of silicon-based nonelectronic devices, the
design is dominated by the fabrication of the devices. That is not only true for the technologydriven
and physical design phases but also for the more abstract phases in the beginning of the
design. In contrast to micro electronics there is no Mead/Conway-abstraction possible. That is
why available design frameworks are limited to the behavioural-driven and more abstract
design.
A new concept of an integrated design support for microsystem technology and a
prototypically realisation of that concept is presented. Designing Microsystems with this tool
the designer need not longer to be technology expert.
Basing on design methodology in micro electronics and mechanics as well considerations on
the design in microsystem technology are discussed. A new methodology for technologydriven
design is presented and by the means of a prototype realised. This prototype allows the
management of process data as well as the design of fabrication process flows. Also the
manufacturability of these flows can be checked. The concept of hierarchical ordered
simulation models is introduced to guarantee at least a rough simulation of process flows,
even if there is no model for one or more fabrication steps available.
URN: urn:nbn:de:hbz:467-994
urn:nbn:de:hbz:467-994
URI: https://dspace.ub.uni-siegen.de/handle/ubsi/99
License: https://dspace.ub.uni-siegen.de/static/license.txt
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